半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是根據(jù)四探針原理，適合半導(dǎo)體器材廠，材料廠用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的電阻率，方塊電阻(簿層電阻)，也可以用作測(cè)量金屬薄層電阻，經(jīng)過對(duì)用戶、半導(dǎo)體廠測(cè)試的調(diào)查，根據(jù)美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術(shù)上的許多突破，它更適合于半導(dǎo)體器材廠工藝檢測(cè)方面對(duì)中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測(cè)量需要，成為普及型的電阻率測(cè)試儀。
本儀器具有測(cè)量精度高，穩(wěn)定性好，重復(fù)性好，輸入阻抗高，使用方便等特點(diǎn)，并有自校功能。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀采用通用的電流-電壓降法即四端子測(cè)量法，可以消除電極與粉末接觸產(chǎn)生的接觸電阻誤差，還可以消除聯(lián)接系統(tǒng)所帶來的誤差，克服了以往傳統(tǒng)的二端測(cè)量粉末電阻率儀器的弊病，真實(shí)、準(zhǔn)確地測(cè)量出粉末樣品的電阻率，因此重復(fù)性好。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀是為了適應(yīng)當(dāng)前迅速發(fā)展中的高分子半導(dǎo)電納米材料電阻率測(cè)試需要，參照有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。儀器直接采用數(shù)字顯示，儀器的可靠性和穩(wěn)定性大大增強(qiáng)，更方便于用戶，而且價(jià)格低廉、實(shí)惠。配置不同的測(cè)試架可以對(duì)半導(dǎo)體粉末、高分子納米粉末進(jìn)行電阻、電阻率多用途的測(cè)量。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀適用于有機(jī)、無機(jī)半導(dǎo)體粉末材料的電阻率測(cè)量，特別適合于太陽能多晶硅、硅粉質(zhì)量的測(cè)量、分選和質(zhì)量控制。電阻率值直接數(shù)字顯示由具有高精度加壓系統(tǒng)，高度測(cè)量的測(cè)試臺(tái)和儀器組成。
半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀主要包括電氣箱和測(cè)試架兩部分，電氣測(cè)試部分由高精度直流數(shù)字電壓表和直流恒定電流源組成。測(cè)試架為壓力傳感器，加壓機(jī)構(gòu)和粉末標(biāo)準(zhǔn)容器組成。壓力機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)操作、壓力平穩(wěn)。半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門、是檢驗(yàn)和分析固態(tài)、粉態(tài)和納米樣品質(zhì)量的一種重要工具。
